在線膜厚儀利用光的干涉原理，通過分析薄膜表面對入射光的反射與干涉信號來計算薄膜厚度。當光線照射到薄膜表面時，一部分光會在薄膜上表面反射，另一部分透過薄膜在下表面反射，這兩束反射光相互干涉形成特定的圖案或光譜分布，儀器通過檢測這些干涉信息來確定薄膜厚度。這種方法分辨率可達納米級，適用于超薄光學鍍膜或半導體材料的檢測。
 

　　激光三角法：使用高精度激光位移傳感器發射束流至被測表面，利用反射光斑的位置變化準確計算膜層厚度。激光照射到物體表面后，會在不同位置產生散射點，這些散射點的分布形態與被測物體的形狀有關，進而可以推算出薄膜的厚度。該方法測量精度高、響應速度快。
 

　　渦流法：主要適用于測量非磁性基底上的涂層厚度。通過在探頭中產生高頻交流電，進而產生渦流，渦流的強度和相位變化與涂層的厚度有關，以此實現對涂層厚度的測量。
 

　　磁感應法：適用于測量磁性基底上的非磁性涂層的厚度。儀器通過測量磁場強度的變化來確定涂層的厚度。當探頭靠近涂層時，磁場線會穿過涂層并受到其厚度的影響，從而改變磁場強度。
 

　　在線膜厚儀的優點：
 

　　1.實時性：能夠直接集成到生產線中，對薄膜厚度進行實時、連續的測量。這使得生產過程中可以及時發現厚度異常情況，便于及時調整工藝參數，保證產品質量的穩定性，減少廢品率。
 

　　2.非接觸式測量：避免了傳統接觸式測量方法可能帶來的薄膜損傷和污染風險。對于一些對表面質量要求較高的產品，如光學薄膜、電子薄膜等，這種非接觸式的測量方式尤為重要，能夠在不影響產品性能的前提下完成檢測。
 

　　3.高精度：采用傳感器與算法，具有很高的測量精度，可以準確地測量出微小的厚度變化。
 

　　4.多參數靈活設置：可根據不同的應用場景和測量需求，靈活設置各種參數，以實現測量效果，適應多樣化的生產要求。
 

　　5.高效自動化：可以實現自動化測量和數據采集，大大提高了生產效率，降低了人工勞動強度。同時，測量數據可以實時傳輸到控制系統，便于進行統計分析和質量控制。
 

　　6.安全性好：相比放射線測量方法更安全，且成本更低、容易操作。